德國(guó)Hellma氟化鈣（CaF?）晶體技術(shù)參數(shù)

一、基礎(chǔ)技術(shù)參數(shù)

• 產(chǎn)品名稱：氟化鈣晶體（CaF?晶體）

• 原材料純度：高純度原材料

• 生產(chǎn)工藝：成熟合成晶體生長(zhǎng)工藝

• 生產(chǎn)產(chǎn)地：德國(guó)耶拿

• 產(chǎn)品類型：多晶、單晶兩種可選

二、核心光學(xué)性能參數(shù)

• 透光波段范圍：130nm（深紫外）~9μm（紅外），覆蓋真空紫外（VUV）、深紫外（DUV）、可見光、紅外（IR）全波段

• 折射率均勻性：優(yōu)于0.5ppm

• 應(yīng)力雙折射：≤0.5nm/cm

• 激光耐久性：適配193nm、248nm等準(zhǔn)分子激光波長(zhǎng)，具備優(yōu)異長(zhǎng)期穩(wěn)定工作性能

• 光譜色散：低色散特性，阿貝數(shù)95.23

• 非線性折射率：低非線性折射率

• 環(huán)境耐受性：優(yōu)異的真空環(huán)境適應(yīng)性、高能輻射環(huán)境穩(wěn)定性

三、規(guī)格定制參數(shù)

• 尺寸：多晶直徑可達(dá)440mm，單晶直徑可達(dá)250mm；厚度可定制至150mm

• 晶體取向：支持<111>、<100>及隨機(jī)取向定制

• 表面質(zhì)量：可選原始、切割、研磨、拋光等多種處理精度

四、質(zhì)量認(rèn)證與檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

• 質(zhì)量管理體系認(rèn)證：ISO 9001/14001認(rèn)證

• 認(rèn)證：DAkkS認(rèn)證

• 符合標(biāo)準(zhǔn)：DIN EN ISO/IEC 17025標(biāo)準(zhǔn)

• 檢測(cè)項(xiàng)目：全流程覆蓋光學(xué)性能、機(jī)械性能、環(huán)境穩(wěn)定性檢測(cè)，確保批次品質(zhì)一致性

五、典型應(yīng)用技術(shù)適配場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體微光刻：248nm、193nm微光刻技術(shù)照明/投影光學(xué)系統(tǒng)

• 真空技術(shù)：空間濾光片、壓縮機(jī)室真空窗口

• 科研與醫(yī)療：紅外光譜傳感器、醫(yī)用激光器、光學(xué)相干斷層成像設(shè)備

• 天文觀測(cè)：高分辨率天文觀測(cè)設(shè)備光學(xué)組件

• 特殊環(huán)境：天基光學(xué)器件（高能輻射環(huán)境）

六、技術(shù)服務(wù)參數(shù)

• 解決方案：提供標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品及定制化參數(shù)設(shè)計(jì)、加工服務(wù)

• 技術(shù)支持：全鏈條技術(shù)支持體系（晶體參數(shù)設(shè)計(jì)-加工-檢測(cè)-交付）